파티클과 마킹이 발생하는 원인

볼과 하우징 사이로 미세 분진이 유입되면 구름면이 마모되어 파티클이 늘어납니다. 건식 윤활이 부족한 유닛은 금속 접촉으로 분진과 소음이 동시에 발생합니다. 유리 기판이나 웨이퍼 캐리어는 볼 표면 흔적이 남기 쉬우므로 나일론 볼 또는 표면 조도가 관리된 스테인리스 볼을 검토합니다. 4홀 플랜지 장착은 체결부 분진이 고이므로 밀봉 캡 구조를 함께 확인합니다.

ESD와 접지 설계

정전기는 볼 유닛이 절연 소재로 분리될 때 축적됩니다. 나일론 볼은 절연체이므로 ESD가 중요한 구간은 스테인리스 볼 유닛과 접지 경로를 분리해 설계합니다. 데크 프레임과 볼 하우징 사이 저항을 측정해 접지 연속성을 확인하고, 도장면은 접지 볼트 위치를 별도로 확보합니다. 이동 속도를 낮추고 급가속 구간을 줄이면 마찰 대전 자체를 줄일 수 있습니다.

장착 평탄도와 유지보수

데크 평탄도는 2m당 1~2mm 이내로 유지하고 볼 상단 높이를 캐리어 바닥과 맞춥니다. 단차가 있으면 충격으로 분진이 발생합니다. 청정도 등급이 높은 구간은 윤활 상태를 주기적으로 기록하고 회전 저항이 커진 유닛은 드롭인으로 교체합니다. 교체 시 주변을 클린 와이프로 닦고 개봉 즉시 장착해 외부 분진 유입을 막습니다. 개당 하중은 캐리어 중량을 접촉 볼 개수로 나눠 20~2000kg 범위 내에서 산정합니다.

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FAQ

클린룸에서 나일론 볼을 써도 되나요?

무마킹에는 유리하지만 절연체이므로 ESD 구간은 스테인리스 볼과 접지 설계를 병행하세요.

파티클이 갑자기 늘면 무엇을 보나요?

볼 회전 저항, 윤활 상태, 데크 단차와 체결부 분진 축적을 순서대로 확인하세요.

접지 연속성은 어떻게 확인하나요?

데크 프레임과 볼 하우징 사이 저항을 측정하고 도장면은 별도 접지 볼트로 확보합니다.