低发尘材料组合

颗粒主要来自金属对磨与润滑剂挥发。洁净区建议选不锈钢球体配工程塑料球座，或全不锈钢干运行结构，避免使用油脂润滑。尼龙球在轻载下噪声低、发尘少，但需确认其耐磨寿命。安装前应做擦拭清洁，去除加工残留。球座与球体间隙不宜过大，以减少颗粒滞留和翻出。具体洁净等级适配需结合现场颗粒监测数据确认，不宜仅凭材料宣称。

无痕滚动与防静电路径

对玻璃基板、晶圆载具和涂层面板，球体表面粗糙度与硬度决定是否留痕。可选镜面不锈钢球体，并控制单只受力不超过额定值的60%，减小接触应力。防静电方面，静电会吸附颗粒并损伤器件，需保证从球体到台面到接地点的导电通路连续；塑料球座需选导电型或另设接地跨接。安装后用表面电阻仪抽检，记录接地阻值。

易清洁安装与维护周期

洁净区安装宜采用上装式球座，减少拆装产生的颗粒。台面开孔后必须去毛刺并清洁，避免金属屑残留。球阵布置应便于擦拭，避免形成难以触及的凹槽。维护周期按洁净等级设定：高等级区建议每月检查球体转动与接地连续性，发现卡滞或异响立即更换，不要现场润滑。更换时在洁净区外拆包并擦拭后带入。

我们的球辊单元与万向球台

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FAQ

洁净室里万向球需要加油润滑吗？

不建议。油脂会挥发并吸附颗粒，洁净区应选干运行结构；若原设计含润滑，需确认其低挥发性能并经现场颗粒监测验证。

怎样避免球体在面板上留下划痕？

选镜面不锈钢球体，控制单只受力不超过额定值60%，并确保球体转动自由，卡滞球会因滑动摩擦造成划痕。

塑料球座如何满足防静电要求？

选用导电型球座或加设接地跨接片，保证球体到台面到接地点通路连续，安装后用表面电阻仪抽检并记录阻值。